CGH ヌルコレクタ(Computer-Generated Hologram Null Corrector) は、非球面レンズや自由曲面レンズやミラーなどの高精度光学システムの収差を測定および補正するために使用される高度な光学検査デバイスです。回折ベースの技術を採用して、テスト対象の光学コンポーネントの理想的な形状に完全に一致する波面を生成し、高精度のヌルテストを可能にします。
CGH ヌル補正器は、コンピュータ生成ホログラム (高精度回折格子) を使用して基準波面を生成することによって機能します。レーザー光が CGH を通過すると、回折して、テスト光学部品の予想される収差の逆数に対応する波面が生成されます。この基準波面とテスト表面から反射された実際の波面との間の偏差は、干渉計などの検出器によって捕捉されます。これらの偏差を分析して、光学面の誤差を定量化します。
主な動作原則には次のものが含まれます。
波面マッチング: CGH は、テスト光学部品の理想的な形状を「無効化」するカスタム波面を生成し、反射波面を平坦または単純な球面基準に変えて測定を容易にします。
回折ベースのキャリブレーション: ホログラムは、光を特定の次数に向ける正確なパターンで設計されており、テストには 1 次の回折次数が使用されます。
高解像度エラーマッピング: 干渉計データにより詳細な表面誤差プロファイルが得られ、修正研磨や位置合わせが可能になります。
私たちのCGH ヌルコレクタ最大の精度と業界標準の干渉計との互換性を実現するように設計されています。以下は主要な製品パラメータです。
主な特徴:
一次の回折効率 > 35%
サブナノメートルの波面精度
632.8 nm (HeNe レーザー) または 1064 nm (IR レーザー) の波長に対応
特定の光学系ごとにカスタム設計
材質：溶融石英または石英基板
サイズ範囲: 直径 25 mm ～ 500 mm
パラメータテーブル:
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 波面精度 | < λ/50 RMS (λ = 632.8 nm) |
| 位置合わせ公差 | チルトと偏心で < 10 秒角 |
| ライン配置精度 | < 50nm |
| レーザーの互換性 | HeNe、IR、または可視レーザー源 |
| 動作距離 | 50mmから2000mmまでカスタマイズ可能 |
| 表面品質 | 10-5 スクラッチディグ |
CGH ヌル コレクタは、航空宇宙、天文学、および大型望遠鏡、EUV リソグラフィ光学系、高精度ミラーの検証用のハイエンド画像産業に不可欠です。物理的なヌルレンズを使用せずに複雑な光学面をテストできるため、多用途でコスト効率が高くなります。
当社の製品は、数十年にわたる光学工学の専門知識と最先端のリソグラフィー製造プロセスを組み合わせています。各 CGH は、追跡可能な精度と再現可能な結果を保証するために、細心の注意を払って設計および検証されています。
